Cn

IPM半導體中度嚴苛系列

用途:

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant


特點:

綠色制造、全新系列干式真空泵

體積小、耗功低、大幅度降低成本

用于中度嚴苛制程的節能泵


規格參數
產品樣本和技術手冊

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