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IPH半導體中度嚴苛系列

用途:

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特點:


IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程。

它優良的性能源自于轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計。

漢鐘獨特型線設計,上海,臺灣,制造。

較之前的版本節能25%,配置有省電模式。

帶有加熱系統避免制程物沉積。

優化的尺寸,即插即用。


規格型號
產品樣本和技術手冊

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